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1959年前蘇聯(lián)學(xué)者里沃夫(В.B.ПьBOB)設(shè)計(jì)出石墨爐原子化器，1960年提出了電熱原子化法(即非火焰原子吸收法)，使原子吸收分析的靈敏度有了極大提高。

1965年威尼斯(J.B.Willis)將氧化亞氮-乙炔火焰用于原子吸收法中，使可測(cè)定元素?cái)?shù)目增至70個(gè)。

1967年馬斯曼(H.Massmann)對(duì)里沃夫石墨爐進(jìn)行改進(jìn)，設(shè)計(jì)出電熱石墨爐原子化器(即高溫石墨爐)。

20世紀(jì)60年代后期發(fā)展了"間接原子吸收分光光度法"，使過去難以用直接法測(cè)定的元素和有機(jī)化合物的測(cè)定有了可能。

1971年美國瓦里安(Varian)公司生產(chǎn)出世界上*臺(tái)縱向加熱石墨爐，并首先發(fā)展Zeemen背景校正技術(shù)。

1981年原子吸收分析儀實(shí)現(xiàn)操作自動(dòng)化。

1984年*臺(tái)連續(xù)氫化物發(fā)生器問世。

1990年推出世界上*進(jìn)的Mark V1焰燃燒頭。

1995年在線火焰自動(dòng)進(jìn)樣器(SIPS8)研制成功并投入使用。

1998年*臺(tái)快速分析火焰原子吸收220FS誕生。

2002年世界上*套火焰和石墨爐同時(shí)分析的原子吸收光譜儀生產(chǎn)并投放市場(chǎng)。

現(xiàn)在，原子吸收分光光度計(jì)采用*的電子技術(shù)，使儀器顯示數(shù)字化、進(jìn)樣自動(dòng)化，計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)使整個(gè)分析實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。

我國在1963年開始對(duì)原子吸收分光光度法有一般性介紹。1965年復(fù)旦大學(xué)電光源實(shí)驗(yàn)室和冶金工業(yè)部有色金屬研究所分別研制成功空心陰極燈光源。1970年北京科學(xué)儀器廠試制成WFD-Y1型單光束火焰原子吸收分光光度計(jì)。現(xiàn)在我國已有多家企業(yè)生產(chǎn)多種型號(hào)、性能較先進(jìn)的原子吸收分光光度計(jì)。

原子吸收分光光度法應(yīng)用也有一定的局限性，即每種待測(cè)元素都要有一個(gè)能發(fā)射特定波長譜線的光源。原子吸收分析中，首先要使待測(cè)元素呈原子狀態(tài)，而原子化往往是將溶液噴霧到火焰中去實(shí)現(xiàn)，這就存在理化方面的干擾，使對(duì)難溶元素的測(cè)定靈敏度還不夠理想，因此實(shí)際效果理想的元素僅30余個(gè);由于儀器使用中，需用乙炔、氫氣、氬氣、氧化亞氮(俗稱笑氣)等，操作中必須注意安全。